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MKS壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中zui為常用的一種傳感器，其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等眾多行業(yè)，下面就簡(jiǎn)單介紹一些常用傳感器原理及其應(yīng)用。另有醫(yī)用壓力傳感器。
MKS壓力傳感器信息融合技術(shù)的基本原理就像人的大腦綜合處理信息的過(guò)程一樣，將各種傳感器進(jìn)行多層次、多空間的信息互補(bǔ)和優(yōu)化組合處理，zui終產(chǎn)生對(duì)觀測(cè)環(huán)境的一致性解釋。在這個(gè)過(guò)程中要充分地利用多級(jí)別、多方面組合導(dǎo)出更多有用的信息。這不僅是利用了多個(gè)傳感器相互協(xié)同操作的優(yōu)勢(shì)，而且也綜合處理了其它信息源的數(shù)據(jù)來(lái)提高整個(gè)傳感器系統(tǒng)的智能化。
平膜壓變MKS壓力傳感器是使用的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重，不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體壓力傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高。
通常高溫熔體壓力傳感器的損壞都是由于其安裝位置不恰當(dāng)而引起的，如果將傳感器強(qiáng)行安裝在過(guò)小的孔或形狀不規(guī)則的孔中，就有可能造成傳感器的震動(dòng)膜受到?jīng)_擊而損壞，選擇合適的工具加工安裝孔，有利于控制安裝孔的尺寸，另外，合適的安裝扭矩有利于形成良好的密封，但是如果安裝扭矩過(guò)高就容易引起高溫熔體壓力傳感器的滑脫，為防止這種現(xiàn)象發(fā)生，通常在傳感器安裝之前在其螺紋部分上涂抹防脫化合物。
1、MKS壓力傳感器正確安裝方法：
（1）通過(guò)適當(dāng)?shù)膬x表，在普通大氣壓和標(biāo)準(zhǔn)溫度條件下，核實(shí)壓力傳感器的頻率反應(yīng)值。
（2）核實(shí)壓力傳感器的編碼與相應(yīng)的頻率反應(yīng)信號(hào)的正確性。
2、確定具體安裝位置
為了確定MKS壓力傳感器的編號(hào)和具體安裝位置，需按充氣網(wǎng)的各個(gè)充氣段來(lái)考慮。
（1）壓力傳感器必須沿著線纜進(jìn)行安裝，安裝在線纜接頭處。
（2）每條線纜設(shè)壓力傳感器不少于4個(gè)，靠近局的兩個(gè)壓力傳感器，相距不應(yīng)大于200m。
（3）每條線纜的始端和末端分別安裝1個(gè)。
（4）每條線纜的分支點(diǎn)應(yīng)裝1個(gè)，如果兩個(gè)分支點(diǎn)相距較近（小于100m），可只裝1個(gè)。
（5）線纜敷設(shè)方式（架空、地下）改變處應(yīng)裝1個(gè)。
（6）對(duì)無(wú)分支的線纜，因壘線的線纜程式一致，壓力傳感器的安裝隔距不大于500m，并使其總數(shù)不少于4個(gè)。
（7）為了便于確定壓力傳感器故障點(diǎn)，除在起點(diǎn)安裝壓力傳感器外，距起點(diǎn)150~200處，還要另外安裝1個(gè)當(dāng)然在設(shè)計(jì)中，一定要考慮經(jīng)濟(jì)與技術(shù)的因素，在不需要安裝壓力傳感器的地方，則應(yīng)不必安裝。
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